Motorji, zasnovani za uporabo v vakuumu, so razvrščeni predvsem glede na specifično vakuumsko okolje, način delovanja in zahteve glede opreme. Pogosti tipi vključujejo vakuumske enosmerne motorje, vakuumske brezkrtačne motorje, vakuumske koračne motorje in vakuumske servo motorje. Za razliko od standardnih motorjev morajo te enote upoštevati izzive, kot so oslabljeno odvajanje toplote, izločanje plinov iz materiala in spremembe izolacijskih lastnosti v vakuumu; posledično zahtevajo višje standarde pri načrtovanju konstrukcij in izbiri materialov. Vsak tip motorja ponuja različne značilnosti glede vrtilne hitrosti, navora, natančnosti krmiljenja in stabilnosti delovanja, kar zahteva izbirni postopek, ki upošteva posebne pogoje delovanja opreme.
Vakuumski motorji na enosmerni tok imajo razmeroma preprosto strukturo in ponujajo priročno regulacijo hitrosti, zaradi česar so primerni za vakuumsko opremo, ki zahteva neprekinjeno delovanje, vendar ima skromne zahteve glede nadzora. Vakuumski brezkrtačni motorji odpravljajo tradicionalne krtače in komutatorje, kar povzroči minimalno mehansko obrabo med delovanjem, zaradi česar so idealni za okolja s strogimi standardi čistoče. Vakuumski koračni motorji se uporabljajo predvsem v opremi, ki zahteva natančen nadzor nad rotacijskimi koti in premiki, kot so vakuumski ventili in natančni prenosni mehanizmi. Za aplikacije, ki zahtevajo visoko zmogljivost v smislu hitrosti gibanja, pozicioniranja in natančnosti odziva, se lahko uporabijo vakuumski servo motorji; če so integrirani z nadzornim sistemom, omogočajo zelo izpopolnjen nadzor gibanja.
Izbira motorja za uporabo v vakuumu zahteva pogled dlje od zgolj nazivne moči in hitrosti; Upoštevati je treba tudi kritične parametre, kot so raven vakuuma, delovna temperatura, pogoji obremenitve in dovoljene stopnje izpusta plina. Če oprema dlje časa deluje v okoljih z visokim ali ultravisokim vakuumom, je treba posebno pozornost nameniti materialom motorja, izolacijskim strukturam in metodam odvajanja toplote, da preprečite težave pri delovanju, ki jih povzroči izločanje plinov iz materiala ali neustrezno hlajenje. Ker se torej motorji, ki se uporabljajo v različnih vakuumskih sistemih, razlikujejo, je treba izbrati ustrezen tip motorja in strukturo na podlagi posebnih delovnih pogojev, da se zagotovi optimalno ravnovesje med učinkovitostjo delovanja, stabilnostjo in življenjsko dobo.
